光刻机的作用光刻机是用来制造芯片的
光刻机又被称为掩膜对准曝光机,在芯片生产中用来光刻工艺,而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步,所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备
光刻机决定了芯片的精密尺寸,设计师设计好芯片线路,再通过光刻机将线路刻在芯片上,其尺度通常在微米级以上
国产的光刻机已形成了一条完整的产业链条,成为全球唯一拥有光刻机全产业链的经济体,双工作台、光学系统、物镜系统、光源系统方面都已有相关企业研发成功,如今国内企业在光线折射技术方面的突破,无疑将补上最后的短板,期待国产光刻机的量产