正是有了强将的加盟,镁光带来了自主研发的1β工艺,Zyvex Labs公司通过电子束光刻技术带来了号称“全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统” ZyvexLitho1,成功绕开了ASML的光刻机
此外,佳能等日企也想夺回曾经属于自己的市场,比如佳能宣布了自己的NIL光刻机,不仅能生产5nm芯片,同时研发、运行成本还更低
不过资本追逐的永远都是利益,曾经无情吐槽中企“给你们全套图纸都造不出光刻机”的ASML,这两年对我国半导体市场频献殷勤,不仅在国内设立了3个开发中心、15个办事处、11个仓储物流中心等,同时还为中国员工设立了“ASML中国日”,还决定继续扩大中国团队