而近日,ASML方面又做出了新的计划,其表示将在2025年实现600台DUV的生产能力,但EUV光刻机只有90台,其高NA EUV光刻机,则是到2028年实现20台的产能,可以看到在产能上的对比强烈,DUV的产能是EUV的近七倍,是高NA EUV光刻机产能的至少30倍
事实上,现在ASML已经看到了其EUV光刻机在未来的销售会不乐观,先看台积电,首先是台积电已经取消了一座7纳米工厂,其现有7纳米生产线的利用率已经不到50%,也就是说,大量的EUV光刻机已经处于关机状态,其3纳米生产线至今闲置,而且还削减了大量产能,近日台积电更是表示没有计划在老美建设3纳米工厂的计划