无掩膜激光直写光刻机用途
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在内部因素上,之所以EUV光刻机,ASML遵从了修改后的芯片规则,是因为EUV光刻机的关键零部件需要美的技术,甚至这些零部件就来自美本土
但是在DUV光刻机上则不然,换句话说,ASML在DUV光刻机上实现了全球领先,与美可以说没有直接的联系