比如我在2021年7月前后撰写多篇短文介绍这套进口德国的极紫外反射镜镀膜机
技术发展曲线的讨论分为创新行为和复制行为,正如我前文所述,它们依赖于完全不同的人才、软硬件条件、资源等
光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图:系统复杂度的演变结语我们之前讨论过ASML的几百家核心供应商
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例如,撰写准分子激光文章的便是北京科益虹源的总经理江锐博士
《光刻技术》专刊目录在这些论文中,不仅详细介绍了国外光刻技术的发展历史,还详细包含了中国过去二十年的几乎所有重要的进展,我将以极紫外光源和极紫外光刻机的研究进展稍作诠释