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简单翻阅这些2022年5月最新的中文资料，也可以验证前文论述中所涉及到的资料范围的准确性、及时性、全面性

例如，我在此前多次介绍美国极紫外光学制造商Zygo的技术背景

美国极紫外光学制造商Zygo介绍通常这些三要素的分析，是分散在我不同的帖子里

解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估阿斯麦光刻机镜头德国蔡司

超级好的光速啊，十年前买的一个一直都在用，用不坏的先锋，还会再买这个牌子的。。。。

例如，撰写准分子激光文章的便是北京科益虹源的总经理江锐博士

给单位同事购买的商品，没有反馈说不好用，肯定是很好用了！非常好，正品，刻录机只用先锋，完美的使用感受

而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点，我们有条件在3年内完成ADT验证机吗？回答这个问题，我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异：2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能，是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作；而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队

因此，关于极紫外光刻机光源部分的国内研究，基本上已经覆盖在我去年撰写的《中国光刻机困局》系列之中

而我近期的撰文又补充了近一年的新的进展

我认为我的分析基本可以反映了目前国内研究的整体状况

因此这篇论文不仅涵盖了光刻胶开发历史，而且介绍了两位教授团队的最新成果和专利

非常小巧的产品，出乎意料特别的轻，有一种不能置信的感觉。具体速度还是可以的，质量自然刚刚的，过去一直使用这个品牌，今次也不例外。声音很安静，基本没有振动，当然我有适合的防震设备。很适合外带的小家伙，移动方便。

长光集智光学注册资本30亿元人民币，其大股东为深圳市新凯来技术有限公司，持股60%；第二大股东便是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，持股20%；第三大股东是金春水，持股7%

经过核查，深圳市新凯来技术有限公司为深圳市深芯恒科技投资有限公司100%持股企业；而后者又是隶属于深圳国资委的深圳市重大产业投资集团有限公司100%持股的企业

长春光机所的产业群长春光机所是国内较为活跃的高科技企业孵化单位，其下属的长光产业共有核心企业70余家，其中上市公司1家，行业涵盖核心元器件、新材料与应用、高端装备制造、超高清成像与显示、激光技术与应用、生命与健康和航空航天等多个领域

解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估中微公司有能力研究光刻机吗

正品，发货速度也很快！这款蓝光刻录机支持16倍速，而且非常静音，刻录数十G光盘?最佳选手。省时间啊！美中不足没有附赠刻录软件

以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述

光刻机运动台控制上海光机所的《激光与光电子学进展》众所周知，上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一，我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作

很好用，不愧是老牌子，声音小，稳定，读碟和刻录都不挑碟，真值得购买！京东客服很给力，保修期内维修时间超过15天都没反应，直接联系给换新了！感谢感谢！后续有需要还会回购的

《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外（EUV）光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授，分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发

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2017年长春光机所的2镜头MET曝光工具验收，获得32纳米线宽曝光图形十年后，2017年02专项验收时，我们可以看到，其验收的两镜头MET曝光工具，获得32纳米线宽曝光图形，与2007年王丽萍教授的论文设计几乎是一致的

2005年论文：美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里，我们可以清晰的看到MET工具CAD模型，它主要包括两个部分：1，从上部的同步辐射光源系统（From synchorotron）经过一个扫描单元传递至曝光装置；它相当于EUV光刻机的EUV光源系统；2，MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分：光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

上微45nm光刻机

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外包装很精美，比联想db75好多了。先前用db75太久了，光头有点灰尘，抓出来的音频有问题，换了之后就好多了。目前没问题，各方面都很好。eac上可以直接查到偏移值，好用！

”没错，2021年底成立的长光集智光学科技有限公司便是囊括了中国集10年于一役的02专项极紫外光刻研究的领军人物及其团队

我们注意到几篇光刻胶专利都是2021年刚刚发表的

因此，很显然，这些资料已经充分地披露了最新的光刻机研究项目的进展，以这些资料作为背景做中国的光刻机困局的分析，是充分的、也是有时效性的

中国光刻机困局研究三要素中国光刻机困局的分析，基于以下三个要素：1，首先整理技术发展的真实资料，它包括中外论文、会议、报告、专利、新闻资讯等

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