2002年上海微电子装备有限公司成立并开始投入到光刻机的研发中,2008年《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(专项02专项)将EUV技术列为下一代光刻技术重点攻关的方向,并计划在2030年实现EUV光刻机的国产化
?直接从主机前面的口插进去的,插上线,开机放碟,立马就可以用了。很快。目前没什么问题。
在国内芯片产业高速发展的同时,也成为了ASML最大的市场
光刻机进口数量暴增的背后是国内光刻机产业链快速发展的身影
也正是因为国内在科技领域的话语权不断增加引起了美国的忌惮并最终选择对芯片产业下手