德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前,美国开展了为期3年的工程验证机(ETS)研究,其采用的是四镜头曝光光学
所以更宽范围来说,过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态
而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化,因此,我们从蔡司的产品迭代来看,我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的
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