此前中国芯片制造企业中芯国际向阿斯麦公司订购了一台EUV极紫光刻机,金额高达一亿多美元,不过就在即将交付的节骨眼上,美国倒插一脚,导致中芯国际到现在也没有收到货
半导体产业是一国工业支柱性产业,不能因为光刻机供应受限,就放弃半导体产业的发展
众所周知,制造半导体离不开光刻机,而光刻机是人类文明智慧的结晶,有着“光学工业之花”以及“半导体工业皇冠之上的明珠”等诸多美称,上述美称集中反映了制造光刻机的技术难度
据悉,光刻机的制造涉及精密光学,超高分辨率仪器、自动化工业设计软件、高分子物理与化学等当今最为前沿的科学技术