但是应付车规级功率芯片,足够了
很多人看到这个信息的第一眼,基本都是比较高兴的心情
之前美国持续给荷兰政府施压,限制asml公司出口给我们光刻机,但是asml公司一直没有妥协
这次asml供应给了我们一台光刻机,从表面上看,是asml顶住了美国政府的施压,完成了一台设备的交付任务,虽然不是EUV光刻机,但是也可以帮助我们发展了
根据中科院光电所所长,罗先刚介绍说:2012年,该所承担了超分辨光刻装备这一国家重大科研装备项目研制任务,经过近7年艰苦攻关,在无国外成熟经验可借鉴的情况下,项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和超精密、多自由度工件台及控制等关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采用365纳米波长光源,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米(约1/17曝光波长)