之后理论上数值孔径还能够再提升,比如达到0.7等,但已经没太多必要了,非常不值得,因为成本太高了,难度太大,估计0.55NA就是顶点了
而0.55NA数值孔径的EUV光刻机,其处理极限可能也就是2nm、1.8nm左右,而INTEL也计划用它在2025年左右,量产2nm、1.8nm的芯片
原来一直用的三星刻录机,用了几年了,不行了,刻不出来了。换了这个,之前发现有不少差评,有些犹豫。换了以后,发现速度快,声音很小,性价比超高。值得购买。
说起EUV光刻机,大家都非常熟悉了,这是生产7nm及以下芯片时,必须使用的光刻机