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众所周知,光刻机是芯片制造的母机,是最核心的设备之一
而EUV光刻机,则用于7nm及以下的芯片制造,且只有ASML一家企业能够生产
考虑到ASML是集全球之力造EUV光刻机,且与上下游形成了利益同盟,所以其它厂商想在EUV光刻机上超过ASML,基本上不可能的
所以其它厂商,只能另想办法,换道超车,用另外的技术来替代EUV光刻机
目前已经有三大方案,都被认为是可以替代EUV光刻机方案的,并且被大家重视,很多企业更是投入巨资研发,以期有所突破,进而替代EUV光刻机