为了让激光束能以极大的功率稳定传输,系统的复杂性可想而知
事实上,EUV的激光系统就有大约45万个零件,重约17吨,线缆长度超过 7000 米
其中高达20kW的二氧化碳激光器,所需电源功率达到了200kW,但即使这样,它的最终效率也才只有5.5%
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