光刻机要一直被“卡脖子”?华为:我偏不...
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由上海建工四建集团承建的临港重装备 F16-01 地块,近日举行了鼎泰匠芯洁净室交付仪式,首台 ASML 光刻机搬入
该项目于 2021 年 7 月开工,建成后将成为中国首座 12 英寸车规级功率半导体自动化晶圆厂
国产 28 纳米光刻机,与已面世的5纳米顶尖制程,依然存在较大的差距,但部分常见的射频芯片、各种电器的驱动芯片等非核心逻辑芯片,仍可以采用 28~90 纳米工艺
2018 年开始,ASML 被美国施压,禁止向中国出口最先进的极紫外线光刻机(EUV),但仍可以销售上一代的深紫外线光刻机(DUV)
到了今年,美国变本加厉,要求连 DUV 也要禁售,这下 AMSL 不干了
11 月 25 日,荷兰外贸与发展合作大臣莉谢·施赖纳马赫尔表示,荷兰正与美国政府就关于向中国出口光刻机的新限制进行谈判
国产光刻机技术发展
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不过,虽然国产光刻机开始不断进步,但技术差距和国外依旧有较大差距,这是客观现实
现阶段,我国无法制造高端光刻机,但可以制造一些低、中端的光刻机
2020 年 6 月,上海微电子设备有限公司透露将在 2021—2022 年交付首台国产 28 纳米工艺浸没式光刻机
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很明显,美国限制光刻机对中国出口,大大伤害了 ASML 的经济利益,他们不想再听美国人的话