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光刻机_雕刻机_曝光系统

动态光刻机历史,ASML硬扛了背信弃义的美国

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动态光刻机历史,ASML硬扛了背信弃义的美国

11月29日,上海鼎泰匠芯科技迎来首台ASML光刻机交付仪式已经在上海临港新片区举行,这是在美国采取措施之后,ASML首次向中国企供应光刻机,凸显出ASML开始硬扛美国

ASML反水,在于此前它完全顺从美国,然而美国芯片企业却在绕开它的EUV光刻机

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三星的3nm工厂已经量产,Intel的Intel 4工厂也已完成设备进驻,台积电、三星和Intel这三大客户都已没大规模采购EUV光刻机的可能性,如今美国芯片企业又显示出抛弃ASML的EUV光刻机的迹象,让ASML开始担忧未来出路

先是美国芯片企业美光已研发绕开EUV光刻机的1β工艺,这项工艺比采用EUV光刻机降低了六成的成本存储密度、功耗等指标也更优秀

更让ASML忧心的是全球芯片行业的变化,全球芯片行业已从过去两年的火热迅速陷入冰点,最大的EUV光刻机采购客户台积电已关闭部分EUV光刻机,甚至还将部分EUV光刻机从中国台湾转运至美国的5nm工厂

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对于中国这个市场,美国却是屡屡横加插手,先是限制ASML不得对中国出售EUV光刻机,今年更是要求ASML不得将14nm以下的DUV光刻机出售给中国,ASML此前照单全收,然而美国却并未给予ASML相应的回报,反而显示出抛弃ASML的迹象,这当然让ASML愤怒

ASML向中国交付光刻机可能仅仅是开始,因为ASML已表示将在未来两三年将EUV光刻机产能扩张到90台,DUV光刻机产能扩张到600台,大规模扩张光刻机产能瞄准的客户除了中国恐怕再无其他,可以预期ASML未来必然会加大对中国出售光刻机的力度,不会再看美国的脸色

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ASML硬扛了背信弃义的美国

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