在内部因素上,之所以EUV光刻机,ASML遵从了修改后的芯片规则,是因为EUV光刻机的关键零部件需要美的技术,甚至这些零部件就来自美本土
但是在DUV光刻机上则不然,换句话说,ASML在DUV光刻机上实现了全球领先,与美可以说没有直接的联系
所以对于ASML来说,让DUV光刻机也去适配修改后的芯片规则,没有任何意义,只会是让ASML丢失大量的市场和营收
要知道,目前我们不仅是全球最大的芯片市场,也是全球最大的半导体设备市场,而ASML在老美的营收已经连续三年下滑
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euv光刻机与非euv光刻机
而DUV光刻机的光源,我们很早就已经实现了突破,国产替代完全没有问题
所以ASML才说,DUV光刻机已经是一项成熟的技术,言下之意,如果我不卖,那我很快就会被替代
事实上,我们国产DUV光刻机的高端部分,近年来,各个主要零部件,已经纷纷进入中试阶段,距离量产已经是一步之遥
而且DUV光刻机的关键部件,如双工件台、浸没系统等,主要技术来自ASML自己,所以说ASML在DUV光刻机上拥有着说话的底气
当然,内部因素其实还不是最主要的,主要还是来自外部因素
所谓的外部因素,就是DUV光刻机毕竟是一项已经成熟的产品,从本质上说,DUV光刻机没有技术上难以逾越的鸿沟
换句话说,只要假以时日,愿意投入资金去研发,是都可以研发出来的
例如我们国产光刻机,早就已经实现了DUV光刻机的量产
EUV光刻机与DUV光刻机的关键不同,是光源的不同,EUV光刻机的光源波长更短,制造难度很大
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ASML“摊牌”了
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