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光刻机可以做什么,国产光刻机的艰难往事

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70年代初,美日等国分别研制出接近式光刻机,而国内却一直停留在接触式光刻

1977年,江苏吴县举行了全国性的光刻机座谈会,明确要改进光刻设备,尽快赶超世界先进水平

于是清华大学精密仪器系、中电科45所等先后投入研制更先进的光刻机

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回顾中国光刻机过去60年间的发展,前20年,在科研人员夜以继日的攻关下,中美光刻机差距被缩短到了7年,中间十几年,因为种种原因,国内外的光刻机差距越拉越大,直到2000年后面对断供威胁,以及与国外的恐怖差距,国产光刻机再次开始奋力追赶

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2016 年,上海微电子90nm光刻机实现量产,华卓精科成功研制出两套双工作台样机,成为继阿斯麦之后,世界上第二家掌握这项技术的企业

至此,国产光刻机虽然还没有完全走出困境,但是经过20多年的艰难追赶,中国的光刻机乃至整个芯片产业,在吸取了之前的发展教训后,总算逐渐开花结果

光刻机可以做什么,国产光刻机的艰难往事

”2逆境改革开放之后,全国兴起了引进外国设备的热潮,半导体产业开始受到猛烈的外部冲击

尽管742厂的技术引进大获成功,但从整体来看,芯片产业出现了重复引进和过于分散的问题

在扩大对外开放的背景下,“造不如买”的思潮迅速蔓延全国

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3曙光时间来到1999年,北约入侵科索沃时,美国通过电子信息战瘫痪了南联盟几乎所有网络系统

为此有关部门多次紧急召开会议讨论:一旦和美国闹掰,国家信息安全将会面临怎样的威胁?随后,《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》出台,光刻机被列入“863重大科技攻关计划

国产光刻机的艰难往事

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