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光刻机_雕刻机_曝光系统

全球光刻机排行,2025年量产

帮同事升级电脑,装了固态硬盘,加了光驱,重装了win10系统,电脑速度一下子提高了许多。同事很开心。

作为全新芯片制作工艺平台,N2制程核心创新在于两点:纳米片电晶体管(Nanosheet)与背面配电线路(backside power rail)

此两点都是为了提高单位能耗中芯片性能设计

台积电的「全环绕栅极式纳米片电晶体管」(GAA nanosheet transistors),晶体管的通道在所有四个侧面都被栅极包围,从而减少了电能泄漏

在此之前,台积电将会使用有N3E、N3P和N3X等3纳米制程的改进版生产芯片

ASML业界最强光刻机加持除了公布2nm先进制程,台积电会议上还宣布,将在2024年,引进ASML(阿斯麦下一代最先进的光刻

此光刻机为「高数值孔径极紫外」(High-NA EUV)光刻机

全球光刻机排行

台积电认为这是在「后段布线制程工序」(BEOL) 中克服电阻的最佳解决方案的一种

工序上做出如此改进后,在同等能耗和复杂度下,N2的性能比N3高10%-15%

在相同速度和单位面积晶体管平均数目下,N2的能耗比N3低25%-30%

2025年量产

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老牌半导体经销商智融科技的高管Dan Hutcheson称,「High-NA EUV光刻机是芯片制造业的下一个重大创新突破拥有者将会引领行业

」台积电负责研发高级副总裁米玉杰称:「2024年的此引进,将会用来开发相关基础设施与类型工艺,以求推动能满足顾客的创新」

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要知道,目前公开称有5nm芯片制造能力的只有台积电和三星两家

而真正第一出货的5nm芯片,是苹果2020年秋季发布会上首次公布的A14仿生芯片,这款SoC的晶体管数量达到118亿个

而第二款用上5nm芯片的则是集成153亿个晶体管的华为麒麟9000

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