2007 年 4 月,Zyvex Corporation 重组为三个独立的公司,以确保持续专注于产品:Zyvex Performance Materials LLC、Zyvex Instruments LLC 和 Zyvex Labs LLC
”芯智讯了解到,虽然EBL电子束光刻机的精度可以轻松超过EUV光刻机,但是,这种技术的缺点也很明显,那就是产量极低(看前面的介绍,ZvyvexLitho1光刻时,500nm的位移,需要200秒的时间),无法快速大量制造芯片,只适合制作那些小量的高精度芯片或者高精度的掩膜板
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ZyvexLitho1套件还包括配置用于构建量子器件的 ScientaOmicron 超高真空 STM
这也使得ZyvexLitho1系统具备其他任何商业扫描隧道显微镜不具备的功能和自动化功能,包括:能够实现无失真成像、自适应电流反馈回路、自动晶格对准、数字矢量光刻、自动化脚本和内置计量
光刻机价格多少
读盘速度:很好 读盘声音:无声 稳定性能:俱佳 产品包装:完好 外形外观:无损 轻薄程度:满意
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我们坚信,要实现量子计算的全部潜力,需要高精度的制造
我们对ZyvexLitho1感到兴奋,这是第一个提供原子级精密图案的商业化工具
”STM光刻技术的发明者、2014年费曼奖得主、伊利诺伊大学教授Joe Lyding表示:“到目前为止,Zyvex实验室的技术是最先进的,也是这种原子级精确光刻技术的唯一商业化实现
可以将设计网格与Zyvex Labs的像素网格相同的计算机辅助设计 (CAD) 文件加载到 ZyvexLitho1 中,并且可以将图案自动分割成不同的几何形状,从而允许尖端矢量与不同的光刻模式一起使用
然后可以自动进行曝光
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