很显然,这两次迭代,将使得摩尔定律被延长至2032年
在中文舆论里,前者便是铺天盖地的所谓“28nm”光刻机;后者便是所谓“7nm”光刻机
半导体产业40年的发展路径经严格考证的国产光刻机光源进度而在我2021年10月份的考证里,国产DUV光源的测试计划是248nm的KrF DUV激光器,因此实际上这一款激光器并没有进入批量生产的阶段
同样,根据2021年3月的公开记录而言,可以很容易判断目前可能还不具备规模量产的能力
因此需要重新调整重大专项的目标和组织模式,以产业发展的基础技术储备作为重点攻关,而不是致力于我前文所述的“复制型制造开发”模式
2,在未来十年的新技术上,目前全球仅ASML具有条件进行未来十年的2nm至5A的相关研究;这是建立在其过去十年的EUV光刻机垄断式发展基础上建立的垄断式发展优势
比利时IMEC实验室公布2纳米以下制程量产时间节点首台高NA光刻机将入驻IMEC-ASML联合实验室IMEC和ASML的联合实验室将在2023年安装第一台高NA EUV光刻机系统;这是近十年光刻机发展历史上的一个里程碑的进展
编者按:公众比较熟悉的光刻机代差是基于193纳米光刻光源的干式DUV和浸液式DUV
而浸液式DUV光刻,可以通过多次曝光获得7纳米节点的能力
明确这些技术代差,有助于讨论和思考我国的光刻机发展方式和组织模式
回国之后就想着购置一台主流的台式机,平时偶尔玩玩游戏,同时需要能满足某些诸如Photoshop,Matlab等专业性的需求,无奈品牌机很少能两者兼顾,性价比也不是很高,于是萌发出自行组装的想法。趁着这次京东618活动,一次性买齐所有组件,全部是京东自营购入,主要也是看重正品及售后保障。主机的配置如下:Intel i7 8700 + 微星B360M迫击炮 + 微星GTX1650 + 威刚内存(8G*2 DDR4 3000)+ Intel 760P SSD 256G + Seagate HDD 1** + 先锋DVD光驱 + 先马机箱电源600W + 飞利浦显示屏。Intel i7 8700性能十分强劲,SSD能够使机器实现秒开,与之前笔记本的对比还是相当明显的;微星主板一如既往地可靠,迫击炮这款可谓是短小精悍,接口齐全,之所以选择GTX1650,也是兼顾成本与实际需求,虽说比不上国际3A大作特效全开,但是应付古剑三等还是绰绰有余;希捷硬盘值得信赖,2.5寸的已经入手好几块,十分便捷;先马的机箱内部空间相当大,走背线完全没问题,考虑到以后可能的升级,电源选择600W全模组,用到目前相当稳定;复古式机箱搭配Pioneer光驱,以前的光碟也完全可以应付。另外,尽管是618,各个自营店的物流速度相当快,这次的购机体验很好!很满意!
极紫外EUV光刻机代差详解:2010-2032年光刻机的难度和**
第一台高NA光刻机EXE:5000将在IMEC和ASML的联合实验室安装1990-2020年的光刻机代差从1990-2030年的半导体发展路径图上,我们可以看到大致上,2005-2019年经历了两个主要代差:1,浸液式DUV光刻(2007-2012年);2,浸液式多重曝光DUV光刻(2012-2019年);3,NA0.33EUV光刻机(2011-2020年)