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据媒体称,美国官员近阶段一直在向荷兰政府施压,要求其禁止向中国销售浸没式光刻机,这也是阿斯麦DUV光刻机中最先进的设备
包括商务部副部长Alan Estevez在内的美国高级官员代表团,将于本月前往荷兰讨论相关的出口管制问题,但据媒体预计本次会谈不会立刻达成协议
硬抗美国施压!荷外贸大臣:对华出售光刻机 荷兰...中国研究光刻机的高校
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因此,阿斯麦尚不能违反美国方面要求向中国供应该设备
7-14纳米机会阿斯麦的DUV光刻机能够覆盖7-14纳米的芯片,且该公司目前100%地垄断了能够制造10纳米以下芯片的光核机设备
美国在出台政策限制中国获取高尖端半导体设备的同时,仍担心阿斯麦通过DUV让中国能够发展7-14纳米级别的芯片
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在与中国的贸易中,阿斯麦目前只供应了技术相对低一档次的DUV(深紫外线光刻机),该设备瞄准的是工艺技术在7纳米以上芯片的制造,覆盖了目前市场上大部分成熟制程的芯片,而中国也是阿斯麦DUV光刻机的最大客户之一
而除了阿斯麦,芯片制造设备市场中还有美国同行应用材料(Applied Materials Inc.)、泛林集团(Lam Research Corp. )和科磊( KLA Corp.),以及日本公司东京电子(Tokyo Electron Ltd.)
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而作为芯片领域关键一环——EUV和DUV光刻机的生产国,荷兰的态度无疑是相当重要
不过荷兰政府官员近日表示,将捍卫自己的经济利益,拒绝听从美国方面提出的对中国禁售半导体设备请求
荷兰外贸与发展合作大臣Liesje Schreinemacher周二表示,在与美国等其他国家的贸易谈判中,荷兰将就阿斯麦公司(ASML)向中国销售芯片设备的事宜做出自己的决定
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