正是有了强将的加盟,镁光带来了自主研发的1β工艺,Zyvex Labs公司通过电子束光刻技术带来了号称“全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统” ZyvexLitho1,成功绕开了ASML的光刻机
此外,佳能等日企也想夺回曾经属于自己的市场,比如佳能宣布了自己的NIL光刻机,不仅能生产5nm芯片,同时研发、运行成本还更低
中企采购的光刻机已到货即便老美升级芯片规则,将制造设备限制到14nm以阻止ASML DUV光刻机进入大陆市场,但ASML依旧态度坚定:不仅重申ASML是欧洲企业,还表态对华出货基本不受影响