有了出色的国产工业软件后,中国在日后的半导体工业发展上将呈现出一个飞跃,这也是为什么中国要坚持一步一个脚印地走完光刻机研制的全部历程,当然俄罗斯现在宣布研制也是亡羊补牢未为不晚,起码能够在半导体工业自主化上迈出重要的一步
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在光刻机的核心部件激光光刻仪器方面,俄罗斯曾独立开辟过氖氦激光发射器,与西方国家普遍采用的二氧化碳激光器走出了一条完全不同的道路,于是俄罗斯想要独立研制光刻机其实并不是一件难事,相反俄罗斯目前最缺的却是时间和经济发展,所以这让西方国家更加扩大了对俄罗斯的制裁力度,以压迫其放弃当前的科研计划