还是媲美EUV的那种
如上图所示,这是机构统计的2021年前道光刻机出货量情况,大家可以看到高档的EUV光刻机,ASML完全垄断,低档尼康、佳能有一定的份额
而中国大量需要光刻机,特别是EUV光刻机,这就造成了市场与需求的不匹配,但ASML也没办法啊
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虽然尼康、佳能、上海微电子都有光刻机,但要搞定EUV光刻机,估计是没太多办法的,ASML攒局的能力太强了,已经将利益链捆绑在一起了