ASML总裁兼首席技术官Martin van den当时就表示,英特尔对ASML在High-NA EUV技术的远见和早期承诺证明了对摩尔定律的不懈追求
今年9月,台积电研究发展资深副总经理米玉杰也对外表示,台积电将在2024年取得ASML新一代High-NA EUV光刻机,为客户发展相关的基础设施与架构解决方案
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