国产光刻机技术发展
众所周知,光刻机是工业皇冠上的明珠,由十万多个零部件组成,重达近200吨,集合了世界各国最顶尖的技术,每项技术都是独一无二的,可以说是全球工业技术的巅峰,在半导体制造行业具有极其重要的地位
科益虹源负责光源系统,唯一知道的是国内首台高能准分子激光器顺利出货,打破国外垄断,国望光学参与物镜系统的打造,至于控制软件还有待完善产业链,就差这最后一块版图需要拼接了
另辟蹊径,一心超越EUV近日有消息称俄罗斯正在开发一款全球领先的光刻机,甚至比ASML最先进的EUV光刻机还先进,俄罗斯莫斯科电子技术学院承接了贸工部开发制造芯片的光刻机项目,该项目由俄罗斯政府首期投资6.7亿卢布资金(约合5100万元人民币)