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不过根据最新的消息显示,老美方面计划将DUV光刻机也纳入范围当中
此前在EUV光刻机上,ASML的态度比较缓和,但这次直接表示了拒绝,可以说ASML不再遮掩,摊牌了
ASML之所以会在态度上出现这样的巨大反差,出于两个方面的因素,分为外部因素和内部因素