国产的光刻机已形成了一条完整的产业链条,成为全球唯一拥有光刻机全产业链的经济体,双工作台、光学系统、物镜系统、光源系统方面都已有相关企业研发成功,如今国内企业在光线折射技术方面的突破,无疑将补上最后的短板,期待国产光刻机的量产
关于光刻机
这就是光刻的作用,类似照相机照相
照相机拍摄的照片是印在纸片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件
光刻机就是将光罩上的设计好集成电路图形通过光线的曝光印到光感材料上,形成图形
光刻机性能指标光刻机主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等