近期光刻机巨头ASML频频向中国芯片释放善意,与此前的态度截然不同,让人摸不着头脑,直到近期它的高管发言或许能解释这一原因,中国市场已成为它最后的蛋糕了,能卖一台赚一台
一方面是光刻机的技术逐渐达到极限,继续升级已不太可能;另一方面是设备自身成本以及生产成本的激增,这就导致ASML自己都担忧这些先进光刻机未来还有多大需求,而快速发展的中国市场则可望成为台积电最后的希望
近期光刻机巨头ASML频频向中国芯片释放善意,与此前的态度截然不同,让人摸不着头脑,直到近期它的高管发言或许能解释这一原因,中国市场已成为它最后的蛋糕了,能卖一台赚一台
一方面是光刻机的技术逐渐达到极限,继续升级已不太可能;另一方面是设备自身成本以及生产成本的激增,这就导致ASML自己都担忧这些先进光刻机未来还有多大需求,而快速发展的中国市场则可望成为台积电最后的希望
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2、美国通过ASML的上市公司身份入股
随着其在DUV时代取得成功,英特尔入股ASML叠加并购加速,2012年,英特尔、三星、台积电共同买入ASML 23%的股权,获得了ASML EUV光刻机的优先供货权,成为了利益共同体
而ASML也一反常态,称自己是一家欧洲公司,DUV光刻机采用了少量的美技术,可以正常出货给中企
事实上ASML也是这样做的
据公开数据显示,ASML在中国市场拥有15个办事处、11个仓储物流中心、三个开发中心、一个维修中心,员工人数超过1500个
再加上,中芯国际不断兴建新的晶圆代工厂
也正是因为如此,包括ASML、台积电等在内的芯片供应商都希望与中企合作,从而获得更多的利益
为了遏制华为等中企的发展,老美擅自修改了芯片规则,禁止所有使用了美技术和设备的企业向中国市场出货,ASML生产的EUV光机也被包含在内
因为以现有的技术能力,这款光刻机只能做周期的线条和点阵,还是无法制作复杂的IC需要的图形的
同时,它还有一个显著的缺点,就是聚焦的面积非常小,属于接触式光刻,易产生缺陷,并且因为是直写式光刻,所以生产效率很低
所以,目前这款超分辨率光刻机只适用于特殊应用,例如科研攻关、技术研发等领域
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彭博分析师 Charles Shum 预估,在 3 年内,台湾代工厂四分之一的芯片制造都需要 EUV 设备
业内人士指出,中国台湾有许多需要运行如此高耗能设备的芯片厂,使得可再生能源变得重要和紧迫,但台湾却严重依赖化石燃料
据报道,中国台湾 2016 年制定一个目标,到了 2025 年,其中 20% 电力来自可再生能源
然而,从 7 月的最新能源审查显示,截至 2021 年底,只有 6% 电力来自可再生能源,促使其下调 2025 年的目标至 15%
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那么ASML为何此前对美国言听计从?现如今又要向中国示好呢?ASML的决定将对全球芯片市场造成怎样影响?三、ASML态度转变将对全球芯片市场造成怎样影响?ASML之所以对美国言听计从,是因为背后的最大资本,隶属于美国,正是美国资本集团
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在工业软件上,中国不少企业都是中流砥柱,这其中便有华为公司等一大批在芯片研制领域取得傲人成绩的中国本土企业
有着丰厚人才资源的俄罗斯在宣布自主研制7nm光刻机后,尽管普遍不被西方国家看好,但这却是俄罗斯在半导体工业走向自主化中的重要一步,也证明了俄罗斯当今的研发实力是不弱于大部分西方国家的
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不过据称,NXE:3600D型号的EUV光刻机,支持的工艺可能仅到3nm,如果要制造2nm的芯片,光刻精度还要提升,需要新一代的High-NA极紫外光刻机才行
而光刻精度怎么提升,就是数值孔径的提升了, 前几代光刻机,比如3400B/C、3600D的数值孔径都是0.33NA的,解析度(精度)为13nm,单次构图间距为32nm到30nm
众所周知,制造7nm及以下工艺的芯片,需要用到EUV光刻机,而全球仅有ASML能够生产
ASML在2015年,就推出了第一代EUV光刻机WINSCAN NXE:3400B,之后在2019年推出了NXE:3400C,2021年推出了NXE:3600D
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