2005年美国加州劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具因此,从这一非常具体的实例来作为比较,并且只从曝光工具的单一指标(我们忽略系统性工作能力、技术储备、制造工具储备等)而言,我们在2017年的02专项极紫外曝光光学的验收成果,接近2005年劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具的曝光线宽
更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目:六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是,与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的,还有一个国家项目“极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关”