所以其它厂商,只能另想办法,换道超车,用另外的技术来替代EUV光刻机
目前已经有三大方案,都被认为是可以替代EUV光刻机方案的,并且被大家重视,很多企业更是投入巨资研发,以期有所突破,进而替代EUV光刻机
第一大方案是NIL纳米压印,其原理类似于打印机一样,先在模具上刻上纳米电路的图案,再把这个图压在硅片的感光材料上,同时用紫外线照射,就能完成转印,这种方式可以达到至少2nm的精度
众所周知,光刻机是芯片制造的母机,是最核心的设备之一
而EUV光刻机,则用于7nm及以下的芯片制造,且只有ASML一家企业能够生产