两三年后,林本坚和ASML研发的浸润式光刻机被生产出来,显示它的技术优势,浸润式光刻机随即成为市场主流,至2008年ASML超越了尼康和佳能成为全球最大的光刻机企业,此后ASML在光刻机市场的地位不断得到巩固
好在这一切,如今都逐渐得到改变,经过数年的发展,国产光刻机产业链如今已逐渐成型,双工作台有华卓精科,激光光源系统有科益虹源、虹科光电等,浸润系统则有启尔机电等,还有镜头系统、曝光光学系统等都有国产厂商在做,并且这些产业链企业都位居全球前三,甚至居于全球第二
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